Ningbo Richge Technology Co.、Ltd。
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XSAシリーズ常閉高真空ソレノイドバルブ
  • XSAシリーズ常閉高真空ソレノイドバルブXSAシリーズ常閉高真空ソレノイドバルブ

XSAシリーズ常閉高真空ソレノイドバルブ

SOLH XSA 常閉ソレノイド バルブは、空気および不活性ガス用の超高真空回路用に特別に設計されており、超低い内部および外部漏れ率で 1×10⁻⁶ Pa までの到達真空をサポートします。内蔵の内部スプリングにより摩擦と粒子の発生が最小限に抑えられ、厳しいクリーンルーム基準を満たします。コイルの消費電力が低く、コンパクトな統合が容易な軽量ボディが特徴で、完全な主流電圧と配線端子を備えた、面シール、フェルール、内部 Rc/NPT ネジを含む複数の接続オプションを提供します。 CE および RoHS 認証を取得しており、半導体、PV、LCD、医療滅菌、食品真空包装、実験室用超高真空試験装置などの信頼性の高いコアスイッチングコンポーネントとして機能します。

XSAシリーズ常閉高真空ソレノイドバルブ

ブランド:Richge Technology の SOLH 

1. 製品のポジショニング

     SOLH XSA シリーズは、超高真空回路用に特別に設計された常閉型電磁弁です。空気および不活性ガス媒体の正確なオン・オフ制御を実現します。究極の高真空耐性、超最小限の漏れ、クリーンな汚染防止構造、高速応答速度を特徴とするこの製品は、半導体、PV パネル、LCD ディスプレイ、医療および食品加工機械などの精密プロセス機器のコア真空コンポーネントとして機能します。

2. 主要な機能

-- 超高真空対応

     最小動作絶対圧力は 1×10⁻⁶ Pa に達し、超高真空プロセス基準を完全に満たし、真空システムの安定した真空保持と迅速な排気効率を保証します。

-- 優れた密閉性と超低漏れ

     内部漏れ ≤ 1.3×10⁻⁹ Pa・m3/s;外部漏れ ≤ 1.3×10⁻¹¹ Pa・m³/s。二重の低リーク性能によりシステムの真空度が安定し、作業環境における有害ガスの漏洩リスクが排除されます。

-- クリーンな低パーティクル最適化構造

     バルブ本体内に組み込まれた内部スプリングにより、可動コンポーネントの摩擦と粒子の発生を軽減し、厳しいクリーンルームグレードの要件を満たす生産ラインに完全に適合します。

-- 低消費電力&軽量な外観

     コイルの消費電力は前世代と比較して最大 25% 削減されました。全体の重量は最大 18% 削減されました (最小 0.41kg)。省エネ設計により、精密機器のフレームへのコンパクトな組み込みが容易です。

-- 複数の接続オプション

     2 つのユニバーサル接続方式が利用可能: 面シール継手、1/4 インチおよび 3/8 インチフェルール圧縮継手、Rc/NPT 雌ねじで、さまざまな標準真空パイプライン仕様と互換性があります。

-- 広い電圧範囲と多様な電気端子

     DC24V、AC110V / AC220Vなどの主流の電圧をカバーします。クイックプラグ端子、DIN 端子、コンジット入口などの複数の配線形式は、主流のすべての自動制御システムに適合します。

-- 安定した安全な工業認証

     コイル難燃性グレード UL94V-0; RoHS、CE、CAT.ES140-7B 規格の認証を取得しており、長期連続ノンストップ産業稼働に適しています。

3. 完全な技術仕様表

パラメータ項目
仕様
バルブの種類
ノーマルクローズ(NC)
適用流体
空気、不活性ガス
最低絶対使用圧力
1×10⁻⁶ Pa (絶対値)
漏れ率
内部漏れ:1.3×10⁻⁹Pa・m3/s外部漏れ:1.3×10⁻¹¹Pa・m3/s
使用圧力範囲
完全真空から正圧へ。耐逆圧0.5MPa
中温
5~60℃
接続形態
フェイスシール / 1/4 インチおよび 3/8 インチのフェルールフィッティング; Rc/NPTめねじ
オプションのコイル電圧
DC24V; AC110V / AC220Vおよびその他のカスタム電圧
消費電力
DCバージョン:サイズ1 ≈ 4.5W、サイズ2 ≈ 7W、サイズ3 ≈ 10.5W
主な材質
バルブ本体:SUSステンレスシール:FKM/PETコイル:銅+鉄心+エポキシ樹脂

4. 典型的なアプリケーションシナリオ

      --半導体製造:プロセスチャンバーのガス注入と真空パイプラインのオンオフ制御

     -- PV および LCD 生産ライン: 超高真空チャンバーのポンピングおよび圧力保持ループ

     -- 医療機器: 真空滅菌機器および分析ラボの真空回路

     -- 食品産業: 真空包装機、真空乾燥機

     -- 科学研究所:超高真空実験装置、素粒子物理試験装置

5. 機種例と選定指針

5.1: 代表的なモデルコード:XSA1-12S-5G2、XSA1-11P-5G2

5.2 選定のポイント

      -- 真空グレード要件の確認: 1×10⁻⁶ Pa (abs) の超高真空性能が必要かどうか

      -- パイプライン接続タイプを選択します: 面シール、フェルール継手、または Rc/NPT 雌ねじ

      -- コイル電圧と電気端子を一致させます: DC24V または AC シリーズ。クイックプラグ/DIN/コンジット配線

      -- ポートサイズを確認: システムの流量需要を満たすために 1/4 インチ、3/8 インチ

一文の要約

     SOLH XSA 常閉高真空ソレノイド バルブは、超低リーク、クリーンな低粒子内部構造、および複数の交換可能な接続を備えた 1×10⁻⁶ Pa の超高真空動作をサポートし、あらゆる精密真空工業プロセスの信頼できるスイッチング コンポーネントとして機能します。

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