SRHシリーズ クリーンタイプ圧力調整弁 | 圧力調整弁リッチテクノロジー

ブランド：Richge Technology (睿其格科技) の SRH シリーズ

製品のポジショニング

     SRH シリーズは、超クリーン、耐食性、低汚染の流体制御シナリオ向けに設計された高純度ステンレス鋼の精密圧力調整器です。このバルブは厳格な Richge クリーン グレード基準に基づいて製造されており、清浄な空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素、精製水に対して安定した正確な圧力制御を実現します。これは、半導体、太陽光発電、LCD、およびバイオ医薬品のハイエンド製造ライン向けの標準的な高清浄調整コンポーネントとして機能します。

クリーングレードのコア機能

     ●フルステンレス製接液部：全ての接触面にSUS316/316L材を採用し、耐酸性・耐食性に優れ、イオン析出ゼロで二次汚染もありません。

     • 厳格なオイルフリー製造: クラス 100 のクリーンルームで製造され、16MΩ・cm の超純水で洗浄され、低粒子および低残留性能を保証します。

     • 最適化されたクリーン構造: 内部の汚染や残留物の蓄積を避けるために、ダイアフラムから隔離されたスプリング構造を備えた最小限のデッドボリューム設計。

     • デュアル ダイヤフラム グレード オプション: 超クリーンな半導体環境向けのグレード A PTFE ダイヤフラム。一般的な耐食性作業条件用のグレード B FKM ダイヤフラム。

     • デュアル機能バージョン: 高純度ガスの供給と真空システムの制御要件に適応する、リリーフ タイプと非リリーフ タイプが利用可能です。

技術的パラメータ

     ・構造形式：直動式精密圧力調整器

     ・接液部材質：SUS316/316L、PTFE/FKMダイヤフラム

     • 適用媒体：クリーンエア、N₂、Ar、CO₂、純水

     ・最大入口圧力：1.0MPa

     ・圧力調整範囲：0.02～0.2MPa / 0.05～0.7MPa

     ・接続口径：Rc1/8、1/4、3/8、1/2

     ・使用温度：0℃～60℃

     ・制御精度：ヒステリシス≦0.01MPa、繰り返し精度 ≤0.005MPa

     • 準拠規格: RoHS、CE、SEMESCO

モデルシリーズ

     ・SRH3000：コンパクトタイプ、接続口径1/8"～1/4"に対応

     ・SRH4000：中型、接続口径1/4"～1/2"に対応

応用産業

     半導体エッチングおよびCVDプロセスガス制御、太陽光発電およびLCD製造、生物医薬品滅菌ガスおよび純水システム、食品および電子不活性ガス保護、実験室用クロマトグラフィーおよび真空精密機器。

主要な概要

     SRHシリーズはSUS316L完全オイルフリー構造、低発塵・低残留性能、2グレードダイヤフラム選択、高精度圧力制御を特長とするクリーン圧力調整器です。ハイエンド精密製造業向けの標準的な超クリーン流体制御バルブです。